1. 半導體製程與先進封裝製程中，必須滿足微縮化的需求，但目前的定位精度不夠。
2. 在光纖耦合對位等應用中，希望對位平台停止時，可以快速地使設備完全靜止。

1. 光學尺信號直接回授至驅動器，執行全閉迴路控制，不須透過上位，縮短信號處理時間。
2. 採用步進系統不會微振，運行時不會延遲定位時間；定位完成後可使設備保持靜止狀態。
3. 搭配5相步進馬達，實行微步級驅動仍能保持精度。

1. 氣缸僅能執行動作，無法回傳位置、負載或運行狀態。
2. 缺乏狀態監控功能，難以滿足設備可追溯性與預測性維護需求。

1. 高剛性緊湊結構：內嵌軌道設計，提升剛性並縮小機構體積。
2. 全方位狀態監控：搭載αSTEP AZ系列步進馬達，可即時回傳「位置」、「速度」、「溫度」、「負載」、「行走距離」、「電源狀態」等，實現製程設備的可追溯性。

1. 高慣性負載需額外傳動軸與支撐結構，增加設計與組裝工時。
2. 配線與配管繞行複雜，佔用空間、降低維護便利性。
3. 伺服系統定位時易產生微振（hunting），影響製程均勻性與良率。

1. 高慣性慣量對應：可直接安裝大型平台或擺臂，省去傳動軸與補強結構，縮短設計與裝配時間。
2. 中空軸設計：電纜線、空氣或液體的配管可穿過中心，節省空間、簡化走線。
3. 無微振定位：採αSTEP AZ系列步進馬達，在停止時能完全靜止，提升製程良率。

1. 奇異點問題：FOUP Stocker中空間有限，如何讓Robot有最短的移動路徑；以及如何縮至最小佔用面積，以利在Elevator中移動，並縮小Stocker的佔地面積，或增加Storage Rack數。
2. 因應後續FOPLP的基板尺寸，FOUP重量增加，如何兼顧提升馬達轉矩與維持小型化？

1. 機器人控制器MRC01控制簡單，並可讓自製SCARA(Robotic Arm)穿越奇異點，行走最短距離；讓Arm各軸收縮到最小面積，升降時不佔空間
2. AZ系列諧和式減速機型，減速機與步進馬達一體化設計，有效縮短空間；
3. AZ系列搭載多圈機械式絕對編碼器，免Sensor，斷電移動仍可記憶位置，可即時回傳狀態，實現可追溯性(智慧化監控)，並取得STO認證(PL e)

影片範例：以MRC01控制東方馬達的小型機器人OVR為例比較

1. 馬達轉矩不足，定位時間無法再縮短；移載時G力導致失步
2. 開迴路步進馬達需另外安裝Sensor，使機構空間加大，同時配線複雜化，有限空間內難再增加馬達軸數
3. 解析度不足，角度微調困難

1. 可將氣管直接連接至軸心，節省零件吸附與旋轉機構的空間
2. 馬達編碼器為免電池絕對式，省去Sensor佔用空間與配線
3. 可搭配DC48V輸入驅動器，提升高速轉矩；絕對式可補正，不會失步

1. 由於工序增加或工序變更，需要增加設備上的馬達軸數，但會導致驅動器和配線空間、以及配線工時的增加。
2. 隨著設備數量的增加，想縮小設備尺寸。

1. 小尺寸伺服馬達選擇稀少，導致輕負載設備被迫使用較大規格的馬達，造成空間與成本浪費。
2. 馬達與電控箱距離長，配線繁瑣且佔用大量空間。

1. 採用「αSTEP AZ系列步進馬達」，馬達安裝面從20、28mm起，到42、60、90mm皆有對應，可根據負載需求選擇最合適的馬達，有效節省設備空間，或放置在緊湊的空間中。
2. 選擇「AZ系列連接器型馬達」和「mini型驅動器」，馬達與驅動器的連接僅需一條電纜線，且驅動器可安裝在馬達附近，徹底減少配線長度與空間占用。